-
Yarı İletken Prob Ekipmanları için Seramik Yedek Parçalar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Seramik Plaka Yarı İletken Ekipman Taşıyıcı
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yarı İletken Ekipman Seramik Yedek Parçaları
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yüksek Sıcaklık Odalarının Sızdırmazlığı için Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Sızdırmazlık Halkası
St.Cera'nın seramik sızdırmazlık halkası, elastomerlerin bozulduğu aşırı ortamlarda polimer O-ringlere alternatif olarak tasarlanmıştır. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen bu sert sızdırmazlık halkası, statik sızdırmazlık uygulamalarında - genellikle yumuşak metal veya grafit conta ile birlikte - 800°C'ye kadar sıcaklıklarda ve agresif plazma veya kimyasal ortamlarda güvenilir vakum veya gaz muhafazası sağlamak için kullanılır. Malzeme sıfır gaz salınımı, yüksek basınç dayanımı (temel eğilme dayanımı 361 MPa) ve kimyasal inertlik (HF hariç halojenlere, asitlere ve alkalilere karşı dirençli) sunar. Hassas taşlanmış sızdırmazlık yüzeyleri (düzlük ≤5 μm, yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,2 μm), eşleşen metal veya seramik bileşenlerle sızdırmaz temas sağlar.
-
Plazma Aşındırma ve CVD Sistemleri için Yüksek Saflıkta Alümina Odak Halkası
St.Cera'nın oda odaklama halkası, plazma aşındırma, CVD ve PVD yarı iletken ekipmanlarında kullanılan kritik bir proses kiti bileşenidir. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen halka, plazmayı sınırlamak ve iyon açısal dağılımını optimize etmek için gofret kenarını çevreler ve böylece gofret yüzeyinde aşındırma homojenliğini iyileştirir. Malzeme, olağanüstü plazma direnci, yüksek dielektrik dayanımı (15×10⁶ V/m) ve 1600°C'ye kadar termal kararlılık sunarak, agresif flor veya klor bazlı plazma ortamlarında uzun vadeli güvenilirlik sağlar. Hassas taşlanmış iç/dış çap ve düzlük (≤10 μm), gofret kenarının doğru konumlandırılmasını sağlayarak kenar kusurlarını ve parçacık oluşumunu azaltır.
-
CVD / PVD Proses Odaları için Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Halka
St.Cera'nın seramik halkası, CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme) ve PVD (Fiziksel Buhar Biriktirme) işlem odalarında kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmıştır. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen bu halka, plazmayı sınırlamak ve oda duvarlarını aşınmaya karşı korumak için oda astarı, odak halkası veya işlem kiti bileşeni olarak görev yapar. Malzeme, mükemmel plazma direnci, yüksek dielektrik dayanımı (15×10⁶ V/m) ve 1600°C'ye kadar termal kararlılık sunarak, agresif flor bazlı plazma ortamlarında uzun hizmet ömrü sağlar. Hassas boyut toleransları (İç/Dış çapta ±0,05 mm) ve düzlük (≤10 μm), tutarlı gofret kenarı konumlandırmasına olanak tanıyarak, biriktirme homojenliğini artırır ve parçacık oluşumunu azaltır.
-
Bernoulli Seramik Uç Etkileyici — İnce ve Kırılgan Yonga Levhalar için Temassız Yonga Levha İşleme
St.Cera'nın Bernoulli seramik uç elemanı, aerodinamik kaldırma kuvveti kullanarak fiziksel temas olmadan gofretleri işler. %99,8 saflıkta alümina (Al₂O₃) veya silisyum karbürden (SiC) üretilen bu eleman, uç eleman ile gofret arasında ince bir hava filmi oluşturmak için basınçlı gaz püskürten hassas işlenmiş nozullara sahiptir. Bu temassız prensip, arka yüzey kirlenmesini, kenar kırılmasını ve yüzey hasarını ortadan kaldırarak ince (≤100 μm), kırılgan veya bükülmüş gofretler için idealdir. Seramik alt tabaka, yüksek eğilme dayanımı (Al₂O₃ için 361 MPa; SiC için 550–600 MPa'ya kadar), düşük kütle ve mükemmel boyutsal kararlılık sağlayarak yüksek hızlı gofret transfer robotlarında tekrarlanabilir konumlandırmayı garanti eder.
-
Yarı İletken ve Endüstriyel Uygulamalar için Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Parçalar
St.Cera, müşteri spesifikasyonlarına göre hassas işlenmiş alümina (Al₂O₃) seramik parçalar üretmektedir. %99,8 yüksek saflıkta alümina kullanılarak üretilen bu bileşenler, mükemmel eğilme dayanımı (361 MPa), yüksek sertlik (16 GPa) ve olağanüstü dielektrik dayanımı (15×10⁶ V/m) sunmaktadır. Yarı iletken ekipmanları, aşınmaya dayanıklı montajlar, elektrik izolatörleri ve yüksek sıcaklık armatürleri için tasarlanan malzeme, neredeyse sıfır su emme (%0) ve 7,2×10⁻⁶/℃ termal genleşme katsayısı sunarak aşırı koşullar altında boyutsal kararlılık sağlamaktadır.
-
Eğrilmiş Yarı İletken Levhaların İşlenmesi için Gözenekli Seramik Vakumlu Tutucu
St.Cera'nın gözenekli seramik tutucusu, %30-45 oranında homojen açık gözenekliliğe ve 10 ila 100 μm arasında değişen gözenek boyutlarına sahip yüksek saflıkta alüminadan üretilmiştir. Geleneksel oluklu tutucuların aksine, gözenekli yüzey, tüm wafer arka yüzünde dağıtılmış vakum sağlayarak, bükülmüş, ince veya tek tek ayrılmış wafer'ları kenar kalkması veya kırılması olmadan etkili bir şekilde tutar. Hafif vakum (kısıtlayıcı aracılığıyla ayarlanabilir) ayrıca arka yüzeyde iz oluşmasını da önler.
-
İnce gofretlerin taşınması için alümina bazlı gözenekli seramik vakumlu tutucu.
St.Cera'nın alümina bazlı gözenekli tutucusu, %99,6 saflıkta Al₂O₃'ten üretilmiştir ve %30-45 arasında kontrollü açık gözenekliliğe ve 10 ila 50 μm arasında değişen homojen gözenek boyutuna sahiptir. Oluklu tutucuların aksine, gözenekli yüzey, tüm wafer arka yüzünde dağıtılmış vakum sağlayarak kenar izlerini ortadan kaldırır ve ultra ince (≤100 μm) veya bükülmüş wafer'ların nazikçe tutulmasını sağlar. Malzeme, ≥250 MPa eğilme dayanımı ve havada 400°C'ye kadar termal kararlılık sunar.
-
CVD/PVD Duş Başlığı için Alümina Gaz Dağıtım Plakası
St.Cera'nın gaz dağıtım plakası (duş başlığı), %99,8 saflıkta yüksek kaliteli alümina seramikten hassas bir şekilde işlenmiştir. CVD, PVD veya ALD işlemleri sırasında gofret yüzeyinde düzgün gaz akışı sağlamak için mikro deliklerden (çapları 0,3–1,5 mm) oluşan bir diziye sahiptir. Plakanın yüksek dielektrik dayanımı (>15×10⁶ V/m) ve plazma direnci, onu yarı iletken ince film kaplaması için vazgeçilmez kılmaktadır.
-
Yarı İletken Proses Bağlantı Elemanları için Seramik Destek Pimi
St.Cera'nın seramik destek pimleri (kaldırma pimleri veya destek pimleri olarak da bilinir), yarı iletken işlem odalarında, taşıma, ısıtma veya soğutma sırasında gofretleri veya alt tabakaları yükseltmek için kullanılır. %99,8 alümina veya silikon nitrürden üretilen bu pimler, yüksek basınç dayanımı, termal kararlılık ve kimyasal direnç sunar. Yarım küre veya düz uçlu tasarım, gofretin çizilmesini önler.
