-
Alümina Yüksek Hassasiyetli Seramik Halka Seramik Parçalar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
ST.CERA Özel Tasarım Yarı İletken Ekipman Seramik Tutucuları
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Silisyum Karbür (SiC) Seramik Uç Eleman – Yüksek Sıcaklıkta Yonga Levha İşleme İçin Yüksek Sertlik
St.Cera'nın SiC seramik uç elemanı, S1111 hammaddesi kullanılarak yüksek saflıkta silisyum karbürden (SiC içeriği %99,72, serbest Si %0,05) üretilmiştir. Olağanüstü mekanik özellikler sunar: eğilme dayanımı 449 MPa (ölçülmüş), elastik modül 457 GPa (ölçülmüş) ve Vickers sertliği 25–28 GPa (tipik). Düşük yoğunluk (3,10–3,15 g/cm³, tipik), yüksek hızlı wafer transfer robotları için ideal olan yüksek özgül sertlik sağlar. 120–150 W/m·K (tipik) termal iletkenlik ve 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipik) termal genleşme katsayısı ile bu uç eleman, yüksek sıcaklıkta (yüksüz olarak 1600–1700°C'ye kadar) işlem sırasında ısıyı etkili bir şekilde dağıtır ve boyutsal kararlılığı korur. Siyah/gri rengi ve sıfır su emme özelliği, temiz oda uyumluluğunu sağlar.
-
Yüksek Sıcaklık ve Plazma Ortamları için Silisyum Karbür (SiC) Tabanlı Vakum Tutucu
St.Cera'nın SiC tabanlı seramik tutucusu, yüksek saflıkta silisyum karbürden (parti S1111, %99,72 SiC, %0,05 serbest Si) üretilmiştir. 449 MPa'lık ölçülen eğilme dayanımı, 3,12 MPa·m¹/²'lik kırılma tokluğu ve 457 GPa'lık elastik modülü sunar. Malzemenin tipik termal iletkenliği (120–150 W/m·K) ve düşük termal genleşmesi (4,0–4,5×10⁻⁶/℃), hızlı sıcaklık artışına ve termal döngü sırasında minimum wafer deformasyonuna olanak tanır. Tutucu, gözenekli vakum tutucu (tekdüze gaz akışı) veya oluklu standart tutucu olarak yapılandırılabilir. 1600–1700°C (yüksüz) maksimum kullanım sıcaklığı ve olağanüstü plazma aşınma direnci ile bu tabla, alümina tablaların bozulduğu yüksek sıcaklıkta gofret işleme (tavlama, RTP) ve agresif aşındırma odaları için idealdir.
-
Yarı İletken Ekipmanları Seramik Yedek Parçaları Seramik Taşıyıcılar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yüksek Rijitlik Gerektiren Taşlama Uygulamaları için Metal Destekli Alümina Seramik Taşlama Halkası
St.Cera'nın metal tabanlı alümina taşlama halkası, yüksek saflıkta alümina (%99,8 Al₂O₃) seramik aşınma tabakasını hassas işlenmiş metal bir destekle (genellikle alüminyum veya paslanmaz çelik) birleştirir. Bu hibrit tasarım, taşlama yüzeyinde seramiğin olağanüstü aşınma direncini ve kimyasal inertliğini sağlarken, metal taban mekanik mukavemet, kolay montaj ve kırılgan kırılmaya karşı direnç ekler. Alümina tabakası 361 MPa eğilme mukavemeti, 16 GPa Vickers sertliği ve 800°C'ye kadar termal kararlılık sunar. Metal taban, taşlama makinelerine, planet taşlama makinelerine ve CMP ekipmanlarına entegrasyon için montaj delikleri, konumlandırma pimleri veya manyetik özelliklerle özelleştirilebilir.
-
Yarı İletken Prob İstasyonu Ekipmanları için Seramik Yedek Parçalar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Al2O3 Seramik Yonga Tutucunun Özelleştirilmiş İşlenmesi
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
ST.CERA Özel Tasarım Yarı İletken Ekipman Seramik Plakası
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
300 mm'lik wafer işleme için 12 inçlik Alümina Vakumlu Tutucu
St.Cera'nın 12 inçlik vakum tutucusu, 300 mm'lik wafer'ların işlenmesi için %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) hassas bir şekilde üretilmiştir. Tutucu, tüm 300 mm çap boyunca düzgün vakum dağılımı sağlamak için ince oluklu bir yüzeye (oluk genişliği 0,5–1,0 mm, aralık 2–3 mm) sahiptir. Düzlük 5 μm içinde korunarak, kesme, arka yüzey taşlama ve inceleme sırasında wafer'ların bükülmeden sabitlenmesini sağlar. Malzemenin yüksek eğilme dayanımı (361 MPa) ve sertliği (16 GPa), tekrarlanan vakum döngülerinde bile uzun vadeli boyutsal kararlılığı garanti eder.
-
Entegre Vakum Kanallı Alümina Seramik Uç Etkileyici
St.Cera'nın alümina vakum uç efektörü, hassas işlenmiş vakum kanallarını ve emme deliklerini doğrudan %99,8 saflıktaki alümina gövdeye entegre eder. Bu tasarım, harici vakum pedlerini ortadan kaldırarak, düzgün tutma kuvvetiyle doğrudan wafer alımını mümkün kılar. Malzemenin yüksek eğilme dayanımı (361 MPa) ve sertliği (16 GPa), tekrarlanan vakum döngüleri altında uzun vadeli boyutsal kararlılık sağlar. Ped alanı boyunca düzlük 10 μm içinde korunarak wafer gerilimi ve kırılması önlenir. Vakum portları, OEM robot kollarıyla kolay entegrasyon için arka montaj flanşında bulunur.
-
Statik elektriğe duyarlı silikon levhaların işlenmesi için ESD güvenli alümina seramik parçalar
St.Cera'nın ESD (elektrostatik deşarj) güvenli alümina seramik parçaları, özel bir katkılama veya kaplama işlemiyle elde edilen, 10⁶–10⁹ Ω/sq'lik özel bir yüzey direncine sahip %99,8 yüksek saflıkta Al₂O₃'ten üretilmiştir. Bu parçalar, statik yükü etkili bir şekilde dağıtarak hassas yarı iletken levhalara ve cihazlara elektrostatik hasarı önler. Temel malzeme, yüksek eğilme mukavemetini (361 MPa), sertliğini (16 GPa) ve dielektrik dayanımını (15×10⁶ V/m) korur. ESD güvenli seramik parçalar arasında uç efektörler, kaldırma pimleri, kılavuz raylar ve FAB otomasyonu için özel fikstürler bulunur.
