Statik elektriğe duyarlı silikon levhaların işlenmesi için ESD güvenli alümina seramik parçalar
St.Cera'nın ESD (elektrostatik deşarj) güvenli alümina seramik parçaları, özel bir katkılama veya kaplama işlemiyle elde edilen, 10⁶–10⁹ Ω/sq'lik özel bir yüzey direncine sahip %99,8 yüksek saflıkta Al₂O₃'ten üretilmiştir. Bu parçalar, statik yükü etkili bir şekilde dağıtarak hassas yarı iletken levhalara ve cihazlara elektrostatik hasarı önler. Temel malzeme, yüksek eğilme mukavemetini (361 MPa), sertliğini (16 GPa) ve dielektrik dayanımını (15×10⁶ V/m) korur. ESD güvenli seramik parçalar arasında uç efektörler, kaldırma pimleri, kılavuz raylar ve FAB otomasyonu için özel fikstürler bulunur.
Teknik Özellikler(%99,8 Al₂O₃ bazlı ve ESD işlemine tabi tutulmuş):
| Mülk | Değer |
| Temel Malzeme | %99,8 Alümina |
| Yüzey Direnci (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Yoğunluk | 3,93 g/cm³ |
| Eğilme Mukavemeti | 361 MPa |
| Vickers Sertliği | 16 GPa |
| Young Modülü | 380 GPa |
| Termal Genleşme (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 800°C |
| Dielektrik Dayanımı (hacimsel) | 15×10⁶ V/m |
Not: ESD yüzey direnci, verilen malzeme özellik tablolarında yer almamaktadır. Yukarıdaki aralık, dağıtıcı seramikler için endüstri standardıdır. Test raporları için lütfen bizimle iletişime geçin.
Uygulamalar:
● Yonga levha transferi için ESD güvenli uç efektörler
● Fabrika ekipmanlarındaki topraklama pimleri ve ESD bağlantı elemanları
● Statik elektriğe duyarlı cihazlar için prizleri test edin.
● Statik kontrolün kritik önem taşıdığı temiz oda ekipmanları
Üretim ve Kalite:
Standart alümina işleme + ESD yüzey işlemi → yüzey direnci ANSI/ESD STM11.11 standardına göre ölçülür. Her parça, eşmerkezli halka elektrot ile %100 test edilir.
Avantajlar:
● ESD kaynaklı verim kaybını önler
● Seramiğin mekanik dayanıklılığını ve kimyasal direncini korur.
● Statik deşarjdan kaynaklanan partikül oluşumu yok
