Yüksek Sıcaklık Odalarının Sızdırmazlığı için Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Sızdırmazlık Halkası
St.Cera'nın seramik sızdırmazlık halkası, elastomerlerin bozulduğu aşırı ortamlarda polimer O-ringlere alternatif olarak tasarlanmıştır. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen bu sert sızdırmazlık halkası, statik sızdırmazlık uygulamalarında - genellikle yumuşak metal veya grafit conta ile birlikte - 800°C'ye kadar sıcaklıklarda ve agresif plazma veya kimyasal ortamlarda güvenilir vakum veya gaz muhafazası sağlamak için kullanılır. Malzeme sıfır gaz salınımı, yüksek basınç dayanımı (temel eğilme dayanımı 361 MPa) ve kimyasal inertlik (HF hariç halojenlere, asitlere ve alkalilere karşı dirençli) sunar. Hassas taşlanmış sızdırmazlık yüzeyleri (düzlük ≤5 μm, yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,2 μm), eşleşen metal veya seramik bileşenlerle sızdırmaz temas sağlar.
Teknik Özellikler( %99,8 Al baz alınarak)₂O₃):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,8 Alümina (Fildişi) |
| Yoğunluk | 3,93 g/cm³ |
| Su Emilimi | 0% |
| Eğilme Mukavemeti | 361 MPa |
| Basınç Dayanımı (tahmini) | >2000 MPa |
| Vickers Sertliği | 16 GPa |
| Termal Genleşme (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 800°C (hava), 1600°C (inert) |
| Yüzey İşlemi (sızdırmazlık yüzeyi) | Ra ≤0,2 μm (taşlanmış) |
| Düzlük (25 mm başına) | ≤5 μm |
| Helyum Kaçak Oranı | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (uygun conta ile) |
Uygulamalar:
- • Yarı iletken işlem odası statik sızdırmazlıkları (CVD, PVD, aşındırma)
- • Yüksek sıcaklık fırın kapısı contaları
- • Vakum geçiş flanşları
- • Kimyasal reaktör kabı kapakları
Üretim Süreci:
İzostatik presleme → 1600°C'de sinterleme → ultra düz, pürüzsüz sızdırmazlık yüzeyleri elde etmek için hassas çift taraflı taşlama → kenar pah kırma → ultrasonik temizleme. Her bir halka, standart metal conta ile helyum sızıntı dedektöründe %100 sızıntı testinden geçirilmiştir.
Kalite Kontrol:
- • CMM boyut kontrolü (İç çap, dış çap, kalınlık, paralellik)
- • Yüzey yüzey profilometresi (Ra ve dalgalanma ölçümü için)
- • Optik düzlem kullanılarak düzlük ölçümü
- • Helyum sızıntı testi (ters basınçlandırma yöntemi)
Polimer O-ringlere göre avantajları:
- · FFKM için 800°C'ye karşı <300°C'ye dayanıklıdır
- • Sıfır gaz salınımı — vakum ortamında kirlenme yok
- • Tüm plazma kimyasallarına (flor, klor, oksijen) karşı dirençlidir.
- • Sıkıştırma kalıcı deformasyonu veya deformasyonu yok.
- • Temiz ortamlarda sınırsız kullanım ömrü
Sınırlamalar (Önemli Notlar):
- · O-ring değil— Bu, sızdırmazlığı sağlamak için yumuşak bir conta (bakır, alüminyum veya grafit) gerektiren sert bir seramik halkadır.
- • Dinamik hareketi veya büyük flanş hizalama hatalarını karşılamaz.
- • Polimer O-ringlere göre ilk maliyeti daha yüksek, ancak daha uzun kullanım ömrü işletme maliyetlerini düşürüyor.
- • Kırılgan yapıdadır — dikkatli kullanın; noktasal darbelere veya bükme gerilimine maruz bırakmaktan kaçının.
Not:Yukarıdaki veriler, verilen Al₂O₃ özellik tablosuna kesinlikle uygundur. Elastomerik malzemeler için herhangi bir veri sağlanmamıştır. Bu ürün, elastomerik bir O-ring değil, statik bir sızdırmazlık halkasıdır. Lütfen bunun uygulama gereksinimlerinizi karşılayıp karşılamadığını teyit edin.
