Entegre Vakum Kanallı Alümina Seramik Uç Etkileyici
St.Cera'nın alümina vakum uç efektörü, hassas işlenmiş vakum kanallarını ve emme deliklerini doğrudan %99,8 saflıktaki alümina gövdeye entegre eder. Bu tasarım, harici vakum pedlerini ortadan kaldırarak, düzgün tutma kuvvetiyle doğrudan wafer alımını mümkün kılar. Malzemenin yüksek eğilme dayanımı (361 MPa) ve sertliği (16 GPa), tekrarlanan vakum döngüleri altında uzun vadeli boyutsal kararlılık sağlar. Ped alanı boyunca düzlük 10 μm içinde korunarak wafer gerilimi ve kırılması önlenir. Vakum portları, OEM robot kollarıyla kolay entegrasyon için arka montaj flanşında bulunur.
Teknik Özellikler(%99,8 Al₂O₃'e dayanmaktadır.):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,8 Alümina (Fildişi) |
| Yoğunluk | 3,93 g/cm³ |
| Eğilme Mukavemeti | 361 MPa |
| Vickers Sertliği | 16 GPa |
| Young Modülü | 380 GPa |
| Termal Genleşme | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Ped Düzlüğü | ≤10 μm |
| Vakum Kanalı Genişliği | 0,5–2,0 mm |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 800°C |
Uygulamalar:
● İnce veya eğrilmiş silikon levhaların vakumla alınması
● Kenardan kavrama gerektirmeden doğrudan gofret işleme
● Güneş pili ve LED alt tabaka transferi
Üretme:
Sinterlenmiş alümina levha → 5 eksenli CNC ile vakum kanalları ve deliklerin delinmesi → yüzey taşlama → ultrasonik temizleme → helyum sızıntı testi. Her bir efektör, vakum homojenliği için %100 akış testinden geçirilmiştir.
Avantajlar:
● Harici vakum pedleri yok (partikül kaynaklarını azaltır)
● Eşit tutma basıncı, gofret üzerinde iz oluşmasını önler.
● Kimyasal olarak inert ve temiz oda uyumlu
