Silisyum Karbür (SiC) Seramik Uç Eleman – Yüksek Sıcaklıkta Yonga Levha İşleme İçin Yüksek Sertlik
St.Cera'nın SiC seramik uç elemanı, S1111 hammaddesi kullanılarak yüksek saflıkta silisyum karbürden (SiC içeriği %99,72, serbest Si %0,05) üretilmiştir. Olağanüstü mekanik özellikler sunar: eğilme dayanımı 449 MPa (ölçülmüş), elastik modül 457 GPa (ölçülmüş) ve Vickers sertliği 25–28 GPa (tipik). Düşük yoğunluk (3,10–3,15 g/cm³, tipik), yüksek hızlı wafer transfer robotları için ideal olan yüksek özgül sertlik sağlar. 120–150 W/m·K (tipik) termal iletkenlik ve 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipik) termal genleşme katsayısı ile bu uç eleman, yüksek sıcaklıkta (yüksüz olarak 1600–1700°C'ye kadar) işlem sırasında ısıyı etkili bir şekilde dağıtır ve boyutsal kararlılığı korur. Siyah/gri rengi ve sıfır su emme özelliği, temiz oda uyumluluğunu sağlar.
Teknik Özellikler(Sağlanan SiC S1111 test raporuna ve tipik değerlere dayanarak)):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | SiC (%99,72 SiC, %0,05 Serbest Si) |
| Renk | Siyah/Gri |
| Yoğunluk | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Su Emilimi | 0% |
| Eğilme Mukavemeti | 449 MPa (ortalama) |
| Kırılma Tokluğu | 3,12 MPa·m¹/² (ortalama) |
| Elastik Modül | 457 GPa |
| Vickers Sertliği | 25–28 GPa |
| Isı İletkenliği (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum Kullanım Sıcaklığı (yüksüz) | 1600–1700°C |
Uygulamalar:
● Yüksek sıcaklıkta gofret işleme (tavlama sonrası, RTP, epitaksi)
● Yüksek aşınma direnci gerektiren plazma aşındırma odaları
● Yüksek hızlı transfer robotları (hafif, yüksek rijitlik)
Üretme:
SiC tozu sinterleme → kol profilinin ve montaj özelliklerinin hassas CNC taşlama işlemi → yüzey taşlama → ultrasonik temizleme. Vakum uygulamaları için %100 boyut kontrolü ve helyum sızıntı testi.
Kalite Kontrol:
● Uzunluk, genişlik ve düzlüklerin CMM ile incelenmesi
● Her parti için eğilme dayanımı testi (test raporu standardına göre)
● Yüzey kusurları için mikroskop altında görsel inceleme
Alümina veya metale göre avantajları:
● 2 kat daha yüksek elastik modül (alümina için ~380 GPa'ya karşılık 457 GPa) – daha az sapma
● 3 kat daha yüksek ısı iletkenliği – daha hızlı ısı dağılımı
● Havada 1600°C'nin üzerinde sıcaklığa dayanır (alümina 800°C'ye kadar dayanabilir).
● Çeliğe göre daha düşük yoğunluk – %40 ağırlık azalması
Özelleştirme:
Uzunluklar 150–450 mm, uç şekilleri (kenar kavrama, Bernoulli, düz), montaj flanş desenleri OEM çizimine göre.
*Yukarıdaki tüm mekanik veriler, tedarik edilen test raporundan (parti S1111) alınmıştır. Isı ve sertlik değerleri bu SiC kalitesi için tipiktir; partiye özel sertifikasyon için lütfen bizimle iletişime geçin.*
