CVD/PVD Duş Başlığı için Alümina Gaz Dağıtım Plakası
St.Cera'nın gaz dağıtım plakası (duş başlığı), %99,8 saflıkta yüksek kaliteli alümina seramikten hassas bir şekilde işlenmiştir. CVD, PVD veya ALD işlemleri sırasında gofret yüzeyinde düzgün gaz akışı sağlamak için mikro deliklerden (çapları 0,3–1,5 mm) oluşan bir diziye sahiptir. Plakanın yüksek dielektrik dayanımı (>15×10⁶ V/m) ve plazma direnci, onu yarı iletken ince film kaplaması için vazgeçilmez kılmaktadır.
Teknik Özellikler:
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,8 Al₂O₃ veya SiC |
| Çap | 100 – 1500 mm (yuvarlak) veya dikdörtgen |
| Kalınlık | 5 – 20 mm |
| Delik Çapı | 0,3 – 1,5 mm |
| Delik Deseni | Özel (üçgen, kare, radyal) |
| Düzlük | Tüm alan boyunca ≤10 μm |
| Yüzey Pürüzlülüğü | Ra ≤0,6 μm (gaz tarafı) |
| Açık Alan Oranı | %5–15 |
Uygulamalar:
PECVD duş başlığı plakaları
ALD gaz enjektörleri
Aşındırma odası gaz dağıtım plakaları
MOCVD reaktör bileşenleri
Üretme:
Alümina alt tabaka düzleştirildi → Elmas kaplı takımlarla CNC delme (delik konum toleransı ±0,02 mm) → Çapak alma → Ultrasonik temizleme → Sınıf 100 ambalajlama.
Kalite Kontrol:
Her bir plaka, delik boyutu (görüntüleme sistemi), düzlük (lazer interferometre) ve gaz akışı homojenliği (basınç haritalama) açısından %100 kontrol edilmektedir. 20x mikroskop altında hiçbir mikro çatlak bulunmamaktadır.
Metal levhalara göre avantajları:
İnce filmlerde metalik kirlenme yok.
Daha düşük partikül oluşumu (korozyon pulu yok)
Agresif temizleme plazmalarına (CF₄, NF₃) dayanıklıdır.
Özel Özellikler:
Arka yüzey gaz kanalları, havşa açılmış delikler, kenar contaları ve farklı malzeme kaliteleri (daha yüksek termal iletkenlik için SiC, plazma direnci için Y₂O₃ kaplama).
Üretim öncesinde CAD doğrulama ve akış simülasyonu hizmeti sunuyoruz.
