Eğrilmiş Yarı İletken Levhaların İşlenmesi için Gözenekli Seramik Vakumlu Tutucu
St.Cera'nın gözenekli seramik tutucusu, %30-45 oranında homojen açık gözenekliliğe ve 10 ila 100 μm arasında değişen gözenek boyutlarına sahip yüksek saflıkta alüminadan üretilmiştir. Geleneksel oluklu tutucuların aksine, gözenekli yüzey, tüm wafer arka yüzünde dağıtılmış vakum sağlayarak, bükülmüş, ince veya tek tek ayrılmış wafer'ları kenar kalkması veya kırılması olmadan etkili bir şekilde tutar. Hafif vakum (kısıtlayıcı aracılığıyla ayarlanabilir) ayrıca arka yüzeyde iz oluşmasını da önler.
Teknik Özellikler( %99,6 Al baz alınarak)₂O₃):
| Mülk | Değer |
| Gözeneklilik | %30-45 |
| Ortalama Gözenek Boyutu | 10–100 μm (seçilebilir) |
| Eğilme Mukavemeti | ≥250 MPa |
| Düzlük (300 mm'den fazla) | ≤5 μm |
| Yüzey İşlemi | Zımparalanmış (Ra 0,8 μm) |
| Maksimum Vakum Seviyesi | -80 kPa |
| Çalışma Sıcaklığı | 400°C (hava), 600°C (inert) |
| Malzeme | %99,6 Al₂O₃, ZrO₂ veya SiC |
Uygulamalar:
İnce gofret (≤50 μm) arka yüzey taşlama
Kesme işlemi için eğrilmiş gofret montajı
Banttan tek tek kalıp alma
Cam panel taşıma
Üretim ve Kalite:
Seramik tozu organik gözenek oluşturucularla karıştırılır → preslenir → sinterlenir → son kalınlığa kadar taşlanır. Her bir parça, vakum homojenliği (≤%5 sapma) açısından akış testine tabi tutulur ve gözenek boyutu dağılımı (SEM) açısından incelenir. Düzlük, lazer interferometre ile ölçülür.
Oluklu mandrenlere göre avantajları:
Yonga kenarında herhangi bir iz veya kalıp kayması yok.
Eğri gofretleri (500 μm'ye kadar eğrilik) tutar.
Vakum deliğinin tıkanmasını önler.
İnce alt tabakalar için kendiliğinden düzleşen destek
Özelleştirme:
Yuvarlak veya dikdörtgen şekillerde, 600 mm'ye kadar boyutlarda. Kenar sızdırmazlık halkaları veya bölgesel vakum bölmeleri uygulayabiliriz. Yüksek rijitlik gereksinimleri için metal destekli versiyonları mevcuttur.
Yonga levhası boyutu ve eğrilme testi için numune talep edin.
