Yarı İletken Proses Bağlantı Elemanları için Seramik Destek Pimi
St.Cera'nın seramik destek pimleri (kaldırma pimleri veya destek pimleri olarak da bilinir), yarı iletken işlem odalarında, taşıma, ısıtma veya soğutma sırasında gofretleri veya alt tabakaları yükseltmek için kullanılır. %99,8 alümina veya silikon nitrürden üretilen bu pimler, yüksek basınç dayanımı, termal kararlılık ve kimyasal direnç sunar. Yarım küre veya düz uçlu tasarım, gofretin çizilmesini önler.
Teknik Özellikler(Alümina %99,8):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,8 Al₂O₃ veya Si₃N₄ |
| Uzunluk | 10 – 100 mm |
| Çap | 1 – 10 mm |
| Uç Şekli | Düz, yarım küre şeklinde, sivri |
| Basınç Dayanımı (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (Al₂O₃) | 1600°C |
| Yüzey İşlemi | Zımparalanmış (Ra ≤0,4 μm) |
| Çap Toleransı | ±0,01 mm |
Uygulamalar:
CVD/PVD odalarındaki kaldırma pimleri
Sıcak plaka üzerinde pişirme için destek pimleri
Prob kartı destek yapıları
Kuvars fırın tekne destekleri
Üretme:
Dış çapın hassas merkezsiz taşlanması → uç profilinin elmas taşlama işlemi → ultrasonik temizleme → %100 boyut kontrolü.
Kalite Kontrol:
Uzunluk/çap için CMM, uç yarıçapı için optik karşılaştırıcı, basınç dayanımını doğrulamak için yük testi (parti başına rastgele örnek). Manyetik kirlenme yok (mıknatısla doğrulandı).
Metal veya kuvars pimlere göre avantajları:
Paslanmaz çeliğe göre 5 kat daha uzun ömürlü
İşlem odasında metal kirliliği bulunmamaktadır.
Kuvarsa göre daha yüksek sıcaklık dayanımı (1600°C'ye karşı 1100°C)
Yapışmaz yüzey (parçacık yapışmasını azaltır)
Özelleştirme:
Çoklu uç profilleri, dişli taban veya konik şaft.
Ayrıca aşırı plazma ortamları için SiC pimleri de tedarik ediyoruz.
