İnce gofretlerin taşınması için alümina bazlı gözenekli seramik vakumlu tutucu.
St.Cera'nın alümina bazlı gözenekli tutucusu, %99,6 saflıkta Al₂O₃'ten üretilmiştir ve %30-45 arasında kontrollü açık gözenekliliğe ve 10 ila 50 μm arasında değişen homojen gözenek boyutuna sahiptir. Oluklu tutucuların aksine, gözenekli yüzey, tüm wafer arka yüzünde dağıtılmış vakum sağlayarak kenar izlerini ortadan kaldırır ve ultra ince (≤100 μm) veya bükülmüş wafer'ların nazikçe tutulmasını sağlar. Malzeme, ≥250 MPa eğilme dayanımı ve havada 400°C'ye kadar termal kararlılık sunar.
Teknik Özellikler( %99,6 Al baz alınarak)₂O₃):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,6 Alümina (Beyaz) |
| Gözeneklilik | %30-45 (ayarlanabilir) |
| Ortalama Gözenek Boyutu | 10–50 μm |
| Eğilme Mukavemeti | ≥250 MPa |
| Yoğunluk | 3,88 g/cm³ |
| Düzlük (200 mm'den fazla) | ≤5 μm |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 400°C (hava) |
| Yüzey İşlemi | Zımparalanmış (Ra ≤0,8 μm) |
Uygulamalar:
- • İnce gofretin (≤50 μm) arka yüzeyinin taşlanması
- • Kesme işlemi için eğrilmiş gofret montajı
- • Tekil kalıp alma
- • Cam alt tabaka işleme
Üretme:
Gözenek oluşturucularla karıştırılmış toz → izostatik presleme → 1600°C'de sinterleme → son kalınlığa kadar taşlama. Her bir parça, vakum homojenliği (basınç sapması <%5) açısından akış testine tabi tutulur ve gözenek boyutu dağılımı (SEM) açısından incelenir.
Geleneksel mandrenlere göre avantajları:
- • Plakanın arka yüzünde herhangi bir işaret veya kalıp kayması yok.
- • 500 μm'ye kadar eğimli plakaları tutar
- • Kendi kendini temizleyen yüzey (gözenekler tıkanmaya karşı dirençlidir)
- • Düzgün destek, bölgesel stresi ortadan kaldırır.
Cözelleştirme:
Yuvarlak veya kare şekillerde, 100–450 mm çapında. Bölgesel vakum kontrolü için kenar sızdırmazlık halkası mevcuttur.
İstediğiniz gofret boyutu için örnek talep edin.
