Eğri ve İnce Yarı İletken Levhaların İşlenmesi için Metal Destekli Gözenekli SiC Vakum Tutucu
St.Cera'nın metal tabanlı seramik vakum tutucusu, gözenekli silisyum karbür (SiC) seramik katmanını hassas işlenmiş metal bir tabanla (alüminyum veya paslanmaz çelik) birleştirir. Gözenekli SiC malzeme (mavi-siyah, gözeneklilik %35–40, gözenek boyutu 20–30 μm, geçirgenlik 60 ml/cm²·min), tüm wafer yüzeyinde düzgün ve nazik vakum dağılımı sağlayarak kenar izlerini ortadan kaldırır ve ince (≤100 μm) veya bükülmüş wafer'lar için temassız destek sağlar. SiC katmanı düşük termal genleşme (3,5×10⁻⁶/℃), 1000°C'ye kadar termal kararlılık ve orta düzeyde eğilme dayanımı (32–35 MPa) sunar. Metal taban, yapısal sağlamlık, dişli delikler aracılığıyla kolay montaj ve kırılgan kırılmaya karşı koruma sağlar. Bu tutucu, düzgün vakum ve termal uyumluluğun kritik olduğu arka yüzey taşlama, dilimleme ve yüksek sıcaklıkta wafer işleme için idealdir.
Teknik Özellikler (sağlanan gözenekli SiC verilerine dayanmaktadır):
| Mülk | Değer |
| Seramik Malzeme | Gözenekli Silisyum Karbür (SiC ≥80%) |
| Renk | Mavi-siyah |
| Gözeneklilik | %35-40 |
| Gözenek Boyutu | 20–30 μm |
| Yoğunluk | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Geçirgenlik | 60 ml/cm²·dakika |
| Eğilme Mukavemeti | 32–35 MPa |
| Termal Genleşme Katsayısı (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 1000°C |
| Elektrik Direnci | 10⁻¹⁰ Ω/cm (verilen verilere göre, gözenekli SiC için tipik) |
| Metal Taban Malzemesi | Alüminyum 6061 veya Paslanmaz Çelik 304 (isteğe bağlı) |
| Metal Taban Kalınlığı | 10–30 mm (özel sipariş) |
Not: Eğilme dayanımı, gözeneklilik nedeniyle yoğun SiC'ye göre daha düşüktür. Metal taban özellikleri seramik tablolarından alınmamıştır.
Uygulamalar:
- • İnce levhaların (≤100 μm) arka yüzeyinin taşlanması
- • Kesme işlemi için eğrilmiş gofret montajı
- • Yüksek sıcaklıkta gofret bağlama (1000°C'ye kadar)
- • Gözenekli veya kırılgan yüzeyler için vakumlu sabitleme
Üretme:
Gözenekli SiC plaka (gözenek oluşturucularla şekillendirilmiş, sinterlenmiş) → ≤10 μm düzlüğe kadar taşlanmış → vakum portları ve montaj özellikleri ile işlenmiş metal taban → epoksi yapıştırma veya mekanik sıkıştırma → helyum sızıntı testi.
Kalite Kontrol:
- • Gözeneklilik ve gözenek boyutu SEM ile doğrulandı.
- • Geçirgenlik testi (hava akışı)
- • Lazer interferometre ile ölçülen düzlük
- · Helyum sızıntı oranı <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Oluklu veya yoğun seramik mandrenlere göre avantajları:
- • Yüzeyde iz yok – belirgin delikler olmadan homojen vakum dağılımı
- • Kendi kendini temizleyen gözenekler – tıkanmayı azaltır
- • Eğrilik gösteren plakaları (500 μm'ye kadar) işleyebilir.
- • Metal taban, kırılgan kırılmayı önler ve entegrasyonu kolaylaştırır.
Sınırlamalar:
- • Düşük eğilme dayanımı (32–35 MPa) – darbe yüklemesinden kaçının
- • Çalışma sıcaklığı 1000°C ile sınırlıdır (gözenekli SiC), ancak metal esaslı epoksi bağın çalışma sıcaklığı, mekanik olarak sıkıştırılmadığı sürece ≤200°C ile sınırlıdır.
- • Yüksek basınçlı vakum uygulamaları için uygun değildir (gözenekli yapı, maksimum vakum farkını sınırlar).
Özelleştirme:
- • Metal taban: alüminyum (hafif), paslanmaz çelik (korozyona dayanıklı), Invar (düşük genleşme)
- • Yapıştırma: epoksi (≤200°C) veya mekanik kelepçe (500°C'ye kadar)
- • Bölgesel vakum kontrolü için kenar sızdırmazlık halkası
Lütfen dikkat: Sağlanan eğilme dayanımı (32–35 MPa), gözeneklilik nedeniyle yoğun seramiklere göre önemli ölçüde daha düşüktür. Kenar kırılmalarını önlemek için dikkatli kullanın.
