Yarı iletken levha taşıma robotları için yüksek saflıkta alümina seramik uç efektör

St.Cera'nın alümina seramik uç elemanı, gelişmiş 5 eksenli CNC taşlama ekipmanı kullanılarak %99,8 yüksek saflıkta Al₂O₃'ten hassas bir şekilde işlenmiştir. Üretim yeteneklerimiz arasında hassas taşlama makineleri ve CNC işleme merkezleri bulunmaktadır ve bu da yüksek hassasiyetle karmaşık geometrilerin üretilmesini sağlar. Uç eleman, düzgün wafer yerleştirme için konik ön kenara sahip ince bir profile (1,5 mm kadar ince) sahiptir. Malzeme, yüksek sertlik (Young modülü 380 GPa), mükemmel aşınma direnci ve 800°C'ye kadar termal kararlılık sağlar. Her bir ünite, 0,003 mm düzlük, 0,002 mm paralellik ve Ra0,1 yüzey kalitesi elde etmek için hassas bir şekilde taşlanmıştır; bu da yarı iletken FAB ortamlarında tutarlı wafer teması ve partikül içermeyen çalışma sağlar. 150 mm'den 450 mm'ye kadar uzunluklarda, özel uç geometrileri (kenar kavrama, Bernoulli, düz) ve OEM robotlarına uyacak montaj flanşlarıyla mevcuttur. Yüzey işleme seçenekleri arasında zımparalanmış, cilalanmış veya ESD dağıtıcı kaplama (10⁶–10⁹ Ω/sq) bulunur.

Teknik Özellikler ( %99,8 Al baz alınarak)₂O₃(ve St.Cera üretim kapasitesi):

Uygulamalar:

• • Vakum ve atmosferik robotlarda gofret transferi
• • 200 mm/300 mm wafer'lar için FAB otomasyon uç efektörleri
• • İnce gofret işleme (ESD seçeneği ile)

Üretim Kapasitesi:
Hassas taşlama makinelerimiz ve CNC işleme merkezlerimiz, aşağıdaki özelliklere sahip karmaşık seramik parçaların üretimini mümkün kılmaktadır:

• • Maksimum işleme uzunluğu: 1500 mm
• • Maksimum dış çap: 600 mm
• • Minimum iç çap: 0,2 mm
• • Maksimum kalınlık: 100 mm

Kalite Kontrol:
CMM ile doğrulanmış doğruluk 0,005 mm, diklik 0,005 mm, yuvarlaklık 0,002 mm, paralellik 0,002 mm, eş merkezlilik 0,01 mm'dir. Her bir ünite ultrasonik olarak temizlenir ve Sınıf 100 temiz oda ambalajında ​​paketlenir.