Yarı İletken ve Endüstriyel Armatürler için Geniş Formatlı Alümina Seramik Plaka
St.Cera, %99,8 saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilmiş, maksimum 1500 mm uzunluğa ve 600 mm genişliğe kadar büyük formatlı seramik plakalar üretmektedir. Hassas taşlama yeteneklerimiz, 100 mm üzerinde 0,003 mm düzlük ve 0,002 mm paralellik sağlayarak geniş alan uygulamaları için tutarlı yüzey kalitesi garanti eder. 100 mm'ye kadar kalınlık ve Ra0,1'e kadar yüzey kalitesi sunulmaktadır. Bu plakalar, yarı iletken, ekran ve fotovoltaik üretiminde vakum tutucu tabanları, ısıtıcı plakaları, elektrik yalıtım panelleri ve proses odası zeminleri olarak kullanılır. Delik açma, havşa açma ve kenar profilleme seçenekleri mevcuttur.
Teknik Özellikler ( %99,8 Al baz alınarak)₂O₃(ve St.Cera üretim kapasitesi):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,8 Alümina (Fildişi) |
| Yoğunluk | 3,93 g/cm³ |
| Eğilme Mukavemeti | 361 MPa |
| Vickers Sertliği | 16 GPa |
| Dielektrik Dayanımı | 15×10⁶ V/m |
| Maksimum Uzunluk | 1500 mm |
| Maksimum Genişlik | 600 mm |
| Maksimum Kalınlık | 100 mm |
| Düzlük (100 mm başına) | 0,003 mm |
| Paralellik | 0,002 mm |
| Yüzey İşlemi | Ra0.1 (taşlanmış/cilalanmış) |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 1600°C |
Uygulamalar:
- • Büyük wafer ve paneller için vakumlu tutucu taban plakaları
- • Isıl işlem ekipmanları için ısıtıcı plakalar
- • Yüksek gerilim sistemlerinde elektrik yalıtım panelleri
- • Proses odası tabanları ve astar plakaları
Üretimde Hassasiyet:
Doğrusallık: 0,005 mm, diklik: 0,005 mm, lazer interferometre ile doğrulandı.
Metal levhalara göre avantajları:
- • Metalik kirlenme olmaması – yarı iletken süreçleri için kritik öneme sahip.
- • Sıfır gaz salınımı – vakum ortamları için ideal
- • Üstün aşınma ve kimyasal direnç
Özelleştirme:
Özel delik desenleri, kenar profilleri, kademeli yüzeyler ve metal kaplı montaj alanları mevcuttur.
