Yüksek sıcaklık dayanımı, korozyon direnci, aşınma direnci ve yalıtım özelliklerine sahip olan seramik, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.