Fiziksel Buhar Biriktirme Sistemleri için Alümina PVD Yalıtım Halkası
St.Cera'nın PVD izolasyon halkası, fiziksel buhar biriktirme (PVD) sistemlerinde kullanılmak üzere %99,8 saflıkta yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilmiştir. Halka, oda bileşenleri arasında elektriksel izolasyon sağlayarak ark oluşumunu önler ve kararlı plazma çalışmasını garanti eder. Başlıca özellikleri arasında yüksek dielektrik dayanımı (15×10⁶ V/m), >10¹⁴ Ω·mm²/m özgül direnç ve 1600°C'ye kadar termal kararlılık bulunur. Hassas işleme yeteneklerimiz sayesinde 600 mm'ye kadar dış çaplar, 0,2 mm'ye kadar iç çaplar, 0,003 mm düzlük ve Ra0,1 yüzey kalitesi elde edilir. Halkanın sıfır gözenekliliği ve kimyasal inertliği, agresif püskürtme ortamlarında uzun vadeli güvenilirlik sağlar.
Teknik Özellikler ( %99,8 Al baz alınarak)₂O₃(ve St.Cera üretim kapasitesi):
| Mülk | Değer |
| Malzeme | %99,8 Alümina (Fildişi) |
| Yoğunluk | 3,93 g/cm³ |
| Eğilme Mukavemeti | 361 MPa |
| Vickers Sertliği | 16 GPa |
| Dielektrik Dayanımı | 15×10⁶ V/m |
| Özgül Direnç | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimum Dış Çap | 600 mm |
| Minimum İç Çap | 0,2 mm |
| Maksimum Kalınlık | 100 mm |
| Düzlük | 0,003 mm |
| Paralellik | 0,002 mm |
| Yüzey İşlemi | Ra0.1 |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 1600°C |
Uygulamalar:
- • PVD sistemlerinde hedef destek plakası izolatörleri
- · Oda geçiş izolatörleri
- • Püskürtme sistemlerinde koruyucu halka izolatörleri
- • Plazma odalarında yüksek voltaj izolasyonu
Üretimde Hassasiyet:
Eşmerkezlilik: 0,01 mm, yuvarlaklık: 0,002 mm, doğrusallık: 0,005 mm, diklik: 0,005 mm, CMM ile doğrulandı.
APolimer izolatörlere göre avantajları:
- • Polimerlerin 300°C'nin altındaki sınırına karşılık 1600°C'ye kadar dayanıklıdır.
- • Gaz salınımı yapmaz – vakum bütünlüğünü korur
- • Plazma erozyonuna ve kimyasal saldırılara karşı dayanıklıdır.
Özelleştirme:
Özel kesitler, montaj özellikleri, kademeli profiller ve çoklu eş merkezli halka tasarımları mevcuttur.
