Geleneksel Al2O3 ve BeO substrat malzemelerinin kapsamlı performans avantajlarıyla birleştirilmiş, yüksek termal iletkenliğe sahip Alüminyum Nitrür(AlN) seramik (monokristalin teorik termal iletkenliği 275W/m▪k, polikristalin teorik termal iletkenliği 70~210W/m▪k'dir) ), düşük dielektrik sabiti, tek kristal silikonla eşleşen termal genleşme katsayısı ve iyi elektriksel yalıtım özellikleri, mikroelektronik endüstrisindeki devre alt katmanları ve paketleme için ideal bir malzemedir.Aynı zamanda yüksek sıcaklıktaki iyi mekanik özellikleri, termal özellikleri ve kimyasal stabilitesi nedeniyle yüksek sıcaklıktaki yapısal seramik bileşenler için de önemli bir malzemedir.
AlN'nin teorik yoğunluğu 3,26g/cm3'tür, MOHS sertliği 7-8'dir, oda sıcaklığı direnci 1016Ωm'den yüksektir ve termal genleşme 3,5×10-6/°C'dir (oda sıcaklığı 200°C).Saf AlN seramikleri renksiz ve şeffaftır ancak safsızlıklardan dolayı gri, grimsi beyaz veya açık sarı gibi çeşitli renklerde olabilirler.
AlN seramikleri, yüksek ısı iletkenliğinin yanı sıra aşağıdaki avantajlara da sahiptir:
1. İyi elektrik yalıtımı;
2. Al2O3 ve BeO gibi malzemelerden üstün, silikon monokristal ile benzer termal genleşme katsayısı;
3. Al2O3 seramikleriyle yüksek mekanik mukavemet ve benzer eğilme mukavemeti;
4. Orta düzeyde dielektrik sabiti ve dielektrik kaybı;
5. BeO ile karşılaştırıldığında, AlN seramiklerinin ısıl iletkenliği sıcaklıktan, özellikle 200°C'nin üzerinde daha az etkilenir;
6. Yüksek sıcaklık dayanımı ve korozyon direnci;
7. Toksik değildir;
8. Yarı iletken endüstrisi, kimyasal metalurji endüstrisi ve diğer endüstriyel alanlara uygulanabilir.
Gönderim zamanı: Temmuz-14-2023